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外(wài)觀檢測AVI~半導體(tǐ) (Wafer外(wài)觀檢測)

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外(wài)觀檢測AVI~半導體(tǐ) (Wafer外(wài)觀檢測)

所屬分(fēn)類 : 外(wài)觀視(shì)覺檢測
零售價
0.0

特點:
自(zì)主研發采用進口相(xiàng)機和(hé)系統設計,支持自(zì)行(xíng)編程操作(zuò)且簡單易懂;

設備技術參數:
産品型号:晶圓/外(wài)延片等外(wài)觀缺陷,尺寸及厚度檢測;
主相(xiàng)機配置:線掃≥8K,面掃≥500萬;
Stage:平坦度≤±1um,位置精度≤±0.1um;
軟件(jiàn)算法:一(yī)體(tǐ)機,具有控制(zhì)器獨立的(de)軟件(jiàn);
檢測項目:各種不良項目及平面度
檢驗精度:0.5um;
檢驗方向:上、下、左右側視(shì)皆可(kě);
檢出情況:檢出率≥99%、誤檢率≤1%;
控制(zhì)系統采用的(de)執行(xíng)元件(jiàn)應具備高精度、高可(kě)靠性和(hé)反應迅速的(de)特點。
支持自(zì)行(xíng)編程操作(zuò)且簡單易懂,同時可(kě)最大支持99項defect可(kě)編程檢測。
支持客制(zhì)化定制(zhì)

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