産品分(fēn)類

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MIT光(guāng)學(xué)測試系統(wafer測試)

所屬分(fēn)類 : 光(guāng)學(xué)性能(néng)檢測

零售價

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元

◆功能(néng)：
主要針對(duì)wafer上每Die逐片點燈以進行(xíng) 光(guāng)學(xué)性能(néng)，電(diàn)氣性能(néng) AOI檢測

◆規格：
wafer Probe：支持100mm/125mm/150mm/200mm Wafer
Cassette Loader，支持 Wafer自(zì)動(dòng)上下料
客制(zhì)化Prober Card，支持單通(tōng)道&多(duō)通(tōng)道測試
搭載151M光(guāng)學(xué)光(guāng)譜儀鏡頭，支持8K分(fēn)辨率，支持最小子(zǐ)像素0.8um
支持色度亮度測試
主動(dòng)防震台支持VC-D/F等級
支持CIM&MES系統整合

◆特點:
·晶圓光(guāng)學(xué)測試系統，8&12inch各種材質晶圓;
·自(zì)動(dòng)三軸運動(dòng)控制(zhì);
·Wafer上下料，自(zì)動(dòng)對(duì)位，自(zì)動(dòng)測試;
·多(duō)功能(néng)夾具，支持8”&12”探針卡;
·多(duō)儀器搭載，支持AOI與光(guāng)學(xué)測試。

項目	規格
尺寸	長(cháng)寬高2.84m1.90m*2.40m
測試樣品大小	8”&12" wafer
光(guāng)譜儀	CS-2000ASR-UL2/PR788/SR3
相(xiàng)機	4300萬,高分(fēn)辨率CCD
運動(dòng)系統	采用高精度伺服電(diàn)機,高精度滾珠螺杆
功能(néng)	色度、亮度、均勻性、光(guāng)譜測試等;支持:點、線面缺陷測試, mura測試
信号	支持特儀自(zì)制(zhì)信号機以及市面通(tōng)用品牌信号機,支持客制(zhì)化信号,信号格式 TTL/LVDS/MIPI/HDMI/edp/2K&4K&8K等
電(diàn)源	支持高精度多(duō)路直流電(diàn)源輸出,以及客制(zhì)化電(diàn)源需求
軟件(jiàn)	特儀自(zì)主開發之軟件(jiàn),全中(zhōng)文版,C#編程模塊化,操作(zuò)簡單, UI界面可(kě)依據客戶需求進行(xíng)定制(zhì),軟件(jiàn)自(zì)帶各标準測試手法,可(kě)以通(tōng)過直接調用模式進行(xíng)測試